高純氣體是指特定元素含量高的純凈氣體的總稱,廣泛應(yīng)用于工業(yè)、和生物領(lǐng)域。
在化工行業(yè)方面, 高純二氧化碳常被用作干冰或制冷劑以進(jìn)行冷卻和解凍;此外還廣泛用于電子元器件的生產(chǎn)中作為蝕刻清洗的氣體以及化學(xué)鍍層等應(yīng)用上; 在食品行業(yè)中是常用的保鮮冷凍介質(zhì)及飲料的原料之一. 而在半導(dǎo)體設(shè)備和制造業(yè)中則是不可或缺的重要材料 。同時(shí)隨著超大規(guī)模集成電路的不斷涌現(xiàn) ,對多組分和高濃度的特殊特種氣體需求量不斷增長 ,這些產(chǎn)品主要應(yīng)用于技術(shù) 、產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域
